研报要点:刻蚀设备比预期翻了一倍，MOCVD等待交付贡献收入，扣非后归母净利润同比+1578%，公司盈利能力大幅提升，CVD+EPI+ALD+ALE，平台化和延伸战略实现长期增长。
预测:我们预计公司2022年至2024年营业收入为45.6亿元/63.0亿元/83.2亿元，归母净利润分别为11.1亿元/14.5亿元/18.2亿元，维持推荐评级。
风险:下游产量扩张不及预期，产品开发不如预期。
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